加速度传感器有哪几种分类(加速度传感器的特性)
加速度传感器或加速度计可以精确测量各种应用的振动或冲击。加速度传感器用于测量振动、冲击、位移、速度和倾斜度。那么,加速度传感器有哪几种分类?加速度传感器的特性是什么呢?下面我们就来介绍。
加速度传感器有哪几种分类?
1、压电式加速度传感器
压电加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应。当加速度传感器振动时,质量块施加到压电元件上的力会相应变化。当测量的振动频率远低于加速度传感器的固有频率时,力的变化与测量的加速度成正比。
2、压阻式加速度传感器
基于世界领先的MEMS硅微加工技术,压阻式加速度传感器具有体积小、功耗低的特点,易于集成到各种模拟和数字电路中。广泛应用于汽车碰撞实验、检测仪器、设备振动监测等。
3、电容式加速度传感器
电容式加速度传感器是基于电容原理变化很大的电容式传感器。电容式加速器在某些领域是不可替代的,例如安全气囊、移动设备等。它通常采用微机电系统(MEMS)技术,在批量生产中经济实惠,从而确保成本较低。
加速度传感器的特性:
1、灵敏度:灵敏度是由一定力产生的输出电压,以g为单位。它通常以指定条件下每单位加速度的伏特数表示。加速度传感器的灵敏度通常在正弦波形状的单个参考频率下测量。
2、频率响应:是加速度传感器应工作的频率范围内的输出信号。
3、加速度范围:是加速度传感器输出信号规格支持的加速度级别,通常以 ±g 为单位指定。
4、温度引起的灵敏度变化:指定为每ºC的变化百分比。
5、非线性:是加速度计响应与完全线性响应偏差的测量值。它指定为相对于满量程范围 (%FSR) 或满量程 (%FS) ±的百分比。
6、零g电平:以V为单位,它指定了0g加速度下输出端可能预期的电压范围。
7、跨轴灵敏度:是衡量当加速度施加到另一个轴上时在一个轴上看到多少输出的量度,通常以百分比形式指定。两个轴之间的耦合是由对准误差、蚀刻不准确和电路串扰共同造成的。
8、噪声密度:噪声密度,单位为 ug/rt(Hz) RMS,是噪声输出功率谱密度的平方根。